出售/回收新科隆光学镀膜机 真空镀膜机ACE-1100DS介绍
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设备性能
排气时间
达到2×10-3Pa不超过10分钟(基片温度设定为300℃)
极限真空压
不超过5×10-5Pa
基片加热温度
常用250℃
膜厚分布
Δnd<±1.0%(按本公司标准发货基准)
安装条件(例)
ACE-1350S
所需电力
三相 200V±10% 约70kW(电力)
所需冷却水
约72L/min、18?25℃(标准20℃)
所需压缩空气
不低于0.5MPaG(0.7MPaG)
安装面积
W5150mm×D7000mm×H3150mm,顶棚高度不低于3500mm
总重量
约7600kg
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