产品名:OTFC-1300DBI
型 式:1300DBI
产品参数:
真空室 SUS304,Ф1300×1610mm(H)
工件架 Ф1130mm
工件架转速 10rpm to 50rpm(可变)
光学膜厚控制 350nm to 1100nm 反射式/透射式
水晶式膜厚计 XTC/3 6点式水晶传感器
蒸发源 电子枪2套
离子源 17cmRF离子源
排气系统 机械泵2个扩散泵Polycold(或2个冷凝泵)
性 能
达到压力 7.0×10-5Pa以下
排气时间 15分(大气压~1.3×10-3Pa)
基板温度 *:350℃
工作条件
设备尺寸 约5000mm(W)×6500mm(D)×3500mm(H)
电源 3相,200v,50/60Hz, 约104KVA
水流量 140升/分以上
空气压力 0.5MPa以上
重量 约9000kg
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