AE Pinnacle 直流磁控电源
产品特点
产品参数
Pinnacle直流磁控电源
产品型号:Pinnacle系列
Pinnacle? Plus+ Advanced Energy (AE) 的 Pinnacle? Plus+ 电源为单体直流脉冲电源,为您的反应工艺提供脉冲直流电解决方案所有优点,包括使用简单、节约成本以及具有*的灵活性。
优势
更高的沉积率与产品率
薄膜均匀性和品质*
成弧造成的基材损坏减少
成本更低
系统整合容易
*的工艺灵活性和宽容度
重复性能
在过度曲线上运行稳定
吞吐量更高
便于监控
无与伦比的系统灵活性
特点
一个紧凑型封装
频率调节范围为 5-350kHz
占空比高达45%
电压范围宽:单输出宽阻抗范围
大功率运行
基材温度低
单输出(5kW 和 10kW 型号)
用于双阴极生产的双输出(双路5kW 型号)
*的弧控制
反应性溅射闭环控制
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