产品型号
GPI XP/D 640 x 480 CCD 图像采集、
相移式干涉测量法基本型
系统
测量方法 激光3维相移干涉法 测量功能 精密测量各种不同反射面或光学面
的形貌及特性
测量光束直
径
4″(102 mm)
6″(152 mm)
配置 水平式,立式向下或立式向上
光学中心线 4.25″(108 mm)
对准系统 快速条纹采样系统(QFAS) (双光点
定位于十字线)
放大范围 6:1(非连续式放大,低失真)
调整可视范
围 4″: ±3° 6″: ±2 °
光曈调焦范
围 -800 mm/+1600 mm, 4″孔径
样件观察 计算机实时显示/单独监视器
计算机 DELL PC;配有硬盘,光驱,17英寸
液晶彩显,可选配打印机
立式4″: 73 Kg
立式6″: 77 Kg
性能参数
3平板测量
重复性1
λ/300 (2σ )
RMS 重复性2 λ/10,000 (2σ)
数据采样 640x480 像素,8位
可选:1K x 1K像素
分辨率 >λ/8,000
条纹分辨率3
180条纹
数据采样时
间
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