D e k t a k X T是B r u k er公司推出的一款表面轮廓仪(Surface Pro filer)。它利用非接触式技术测量样品的表面形貌和粗糙度,广泛应用于半导体、光学、涂层、纳米材料、微电子等领域。
以下是D e k t a k X T的主要特点和功能:
1.高精度测量:D e k t a k X T具有高度精确的测量能力,可测量细微的表面形貌变化和粗糙度。其分辨率可达纳米级别,适用于对表面质量要求较高的应用。
2.非接触式技术:D e k t a k X T采用非接触式扫描技术,避免对样品造成物理损伤。这种技术还能够准确测量不同材料的表面形貌,包括金属、陶瓷、聚合物等
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