美国ZYGO激光干涉仪
菲索型激光干涉仪,具有环形光源伪迹消除抑制技术,是一种高 精度、共光路面形计量干涉仪。ZYGO新一代激光干涉仪系列--VeriFire?激光干涉仪,继承了工业标准GPI?激光干涉仪系列的所有优点,融合了机械相移技术、革命性的数据采集技术、高性能的光电成像系统、振动补偿软件、非球面测量技术和波纹抑制技术等,是ZYGO技术的集中体现。 Zygo较新推出用于在震动环境下测量的DynaFiz干涉仪。
系统:
测量技术:机械相移干涉测量(PSI)
校准系统 :快速条纹采样系统(QFAS) (双光点定位于十字线)
测量光束直径 :4″(102mm)或6″(152mm)
对准视场范围FOV :4″:±3°;6″:±2°;
光学中心线 :4.25″(108mm)
激光光源:大功率稳频氦-氖激光,IIIa 级
波长: 633 nm
频率稳定度: < 0.0001 nm
相干长度 :>100m
成像分辨率 :1000 x 1000 像素
帧速 :43Hz
数据采集时间 :302ms
数据模式: 8位
放大 :电控数显放大1-5X
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