工厂低价转让 1台 原装进口日本新科隆精密镀膜机 1100MM,配双枪光控,低温泵,连续镀,离子源
系统构成
基板取付 旋转式立式伞架
光学式膜厚计 选购件
水晶式膜厚计 无
电脑系统 SSC-1
RAS机构 溅射源+氧化反应源
旋转负极 选购件
追加目标 选购件(真空室1专用、仅1枚)
高真空排气系统 选购件(仅真空室1)
设备性能
排气时间(成膜室) 达到1×10-3Pa不超过30分钟(测量条件按本公司标准)
排气时间(前室) 从大气压到7Pa不超过7分钟(测量条件按本公司标准)
极限真空压 不超过1×10-4Pa
基片加热温度 不加热
膜厚分布 CV(变动系数)=不超过0.5%(按本公司标准发货基准)
安装条件
所需电力 三相 200V±10% 约68kW(最大电力)
所需冷却水 约140L/min、18〜24℃(标准20℃)
所需压缩空气 不低于0.5MPa(*0.7MPa)
安装面积 W4300mm×D6300mm×H2700mm,顶棚高度不低于3000mm
总重量 约9000kg
此贴长期有效，联系我时，请说明是从处理网看到的。
