工厂转让1台日本射频源1550/1800真空电镀膜机
1:特征
真空室尺寸:Φ600-1800mm60点/80点式
光学膜厚监控使用均匀分布的高离子电流密度的离子源搭载双电子枪,
多点和环型坩埚可镀100层以上利用自动蒸镀控制系统实现全自动蒸镀过程工件架可选择钟罩式或行星式排气系统可选择扩散泵+低温冷凝器(POLYCOLD)或冷凝泵OTFC-900CBI/DBI真空室SUS304,
2:规格
φ900mm×1300mm (H)工件架φ 790mm工件架转速10 rpm to 30 rpm (可变)光学膜厚控制HOM2-R-VIS350A光学膜厚监控仪波长范围:350nm to1100nm反射式/透射式可选水晶式膜厚计XTC/3+6点式水晶传感器蒸发源电子枪2套离子源10cm RF 离子源排气系统机械泵+1个扩散泵+Polycold(或1个冷凝泵)
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