设备名称OTFC-1300CBI/DBI
真空室SUS304, φ1300mm×1610mm (H)
工件架φ1130mm
工件架转速10rpm to 50rpm(可变)
光学膜厚控制HOM2-R-VIS350A光学膜厚监控仪
波长范围:350nm to 1100nm
反射式/透射式
水晶式膜厚计XTC/3+6点式水晶传感器
蒸发源电子枪2套
离子源17cmRF离子源
排气系统机械泵+2个扩散泵+Polycold(或2个冷凝泵)
达到压力7.0×10-5 Pa 以下
排气时间15分(大气压~1.3×10-3 Pa)
基板温度最高:350℃
工作条件
设备尺寸约5000mm(W)×6500mm(D)×3500mm(H)
电源3相,200v,50/60Hz, 约104KVA
水流量140升/分以上
空气压力0.5MPa以上
重量约8500kg
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