南光ZZS1100真空电镀膜机
一,机械明细介绍
型号:ZZS1100
真空室尺寸:Φ1100×1300
极限真空镀:≤3.0×10-4Pa
恢复真空时间:4.0×10-3Pa≤15min
抽气第统:扩散泵:TK-500×2 罗茨泵:ZJP-300 机械泵:2X-70
真空室系统:配三路数字复合真空计,两路低真空,一路高真空
工件夹具:Φ1040
工件控烤系统:上烘烤,铠装管状加热器加热,温度350℃,PID自动控温及显示
电阻蒸发源:电阻蒸发源功率4KW(8V、600A)
电子束蒸发源:E型电子束蒸发源,功率6~10KW
膜厚监控系统:光学膜厚监控,波长范围380-800nm,9o透反射光路,六位电动比较片带显示;石英晶体膜厚监控,美国SQC-310、IC/6
充气系统:自动压强仪2~510-2Pa
外形尺寸:3870×3600×2670
重量:3000
二,机械用途
用于生产IR-CUT滤光片、分色滤光片、高反射膜、AR膜、长波通、短波通和多种电学薄膜
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