设备名称: VTS-1600
品牌: 韩国VACOS社
真空室: φ1600 x H1600mm (SUS304)
工件架转速: ~ Max 2 rpm
扩散泵: HT20B (EDWARDS社)
Rotary Pump: E2M275 (EDWARDS社)
Booster Pump: EH-2600 (EDWARDS社)
Poly Cold: 北京天地精仪
阴极/靶材(Cathode/Target): 4set
Power Supply: 5 kw, EnerPulse Power Supply (EN) 1 set
20 kw, Ener Stream Power Supply (EN)_2 set
20 kw, Pulse Gen Duo Power Supply (EN)_2 set
设备尺寸约6000mm(W)×6500mm(D)×2500mm(H)
重量约6500kg
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