(1)单晶炉的主进水水表有轻微的摆幅及车间内的主、出进水水管有明显的嗡嗡声。外部工艺冷却水水压波动,管道水含有其他物质(由于工艺冷却水都是从水池抽出传输到单体单晶炉,一池水需储放一段时间,需要多次使用且周期性进行清理),需要查看处理。
(2)三相电不平衡。找动力电压供应部门查看外部电压波动是否在合理范围,单项电压不平衡,需要调整单项电压或调整相电压差。
(3)单晶炉主体的底部垫铁没有垫实及下水平不好,在传动或者使用一段时间后出现水平差异。处理措施,静态用水平仪器调好水平,垫实垫铁后,再模拟拉晶运动,动态调整水平。
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