1300镀膜机型号规格整理
厂商 OPTORUN OPTORUN
型号 OTFC1300C OTFC1300DB
序列号 S0019 SO567
电子枪(双电子枪有无 JST-10F-2GUN JST-10F-2GUN
坩埚点数 24点+28点
旋转泵 VS2401
机械升压泵 EH500
抗散泵 冷冻U20P*2台 22*2台
冷冻泵 无 PolcoldPFC-670HC
离子源(射频离子源) 有 无
光学观测有无(光控&精控) 有
基板加热heater有无 有
回转 中心回转
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