主要参数1、干涉仪主机配计算机及操作软件,激光稳频,QPSI抗震移相,精度1/10 Wave(PV);
2、球面标准镜尺寸为4,精度为1/10 Wave(PV);
3、平面标准镜尺寸为4,精度为1/20 Wave(PV);
4、五维调整架(xy偏心,xy俯仰,z轴平移,绕z轴旋转)与自定心夹具配合,最大夹持尺寸为4;
5、精密直线导轨形成1m,最小位移0.020 µm,精度±4.0 µm;
6、主动隔振光学平台,长/宽/高(mm)2400/1500/200,0.5-10HZ振动隔离
功能用途光学元件表面面形及光学系统透射波前像差测量
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