KLA-Tencor Candela CS10是一款高级光学成像系统,主要用于半导体行业中的工艺控制和质量监控。它提供了高分辨率的表面成像,以帮助制造商检测和解决制造过程中的缺陷和问题。
以下是Candela CS10的一些关键技术参数和功能特点:
分辨率:Candela CS10具有先进的光学系统,可提供高分辨率的成像能力。它能够捕捉到微小的表面特征,并以高精度显示图像的细节。
影像模式:CS10提供了多种影像模式,包括亮场、暗场和偏光模式。这些模式可根据不同应用的需求进行选择,以实现对不同样品的成像效果。
自动化功能:CS10具有自动对焦和自动曝光功能,可以快速而准确地设置的成像参数。这样,操作人员可以节省时间并确保获得一致的成像结果。
缺陷检测和分类:CS10内置了先进的缺陷检测算法,可以实时识别和分析样品表面的缺陷。它能够快速识别并分类各种类型的缺陷,帮助制造商及时采取措施来改善制造过程。
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