一、美国ZYGO干涉仪
1主要指标
1.测量技术:快速机械相移模式QPSI
经典机械相移干涉模式PSI
2.激光光源:大功率稳频氦一氖激光,Ⅲa级
3.波长:633 nm
4.频率稳定度:<0.0001 nm
5.相干长度:>100 m
6.5.3M像素相机 1.4M像素相机(可选)
分辨率:2304*2304 分辨力:1200*1200/600*600
帧速:210Hz 帧速:50Hz/82Hz
数位:8位 数位:10位
快门时间:200us-10ms 快门时间>12us
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