DEKTAK150表面轮廓仪资料:
Dektak150台阶仪由德国维易科公司(Veeco)制造,主要用于薄膜厚度,表面形貌,应力,平整度等精密测量,广发应用于光学,太阳能,半导体,生命科学,材料科学等领域。测量时利用金刚石探针在样品表面运动,记录探针垂直位移,经过一系列信号转换及处理,最终以表面轮廓线形式表现,从而达到测量样品表面台阶高度,粗糙度等物理参数的目的。
主要参数:探针直径为2.5 μm,探针压力为3 mg,测量范围是10~66500 nm,垂直方向精度为0.1 nm。
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