电子显微镜工作时应处于高真空状态,即使不工作也应使其保持真空状态,以保护镜筒内透镜和重要部件不受外界环境的影响,延长其使用寿命。在工作状态下,如果镜筒内存在空气,气体分子将与高速运动的电子相互碰撞,使气体电离放电,引起电子束闪烁和不稳定。炽热的灯丝若与气体相遇,则会缩短灯丝使用寿命或损坏灯丝。此外,如镜筒中有气体存在也会污染样品。
电子显微镜在日常关机后,因气体不断进入将使镜筒处于低真空状态,所以工作前大约30min抽真空操作,将进入镜筒的气体抽走。当电子显微镜已经处于工作状态时,仍需要油扩散泵和机械旋转泵连续不断地运动,随时将缓慢进入镜筒的气体抽走,以保持镜筒的高真空度,营造电子显微镜工作的必要条件。真空度一般要求达到1/1.33x105以上,才能观察样品。
灯丝是电子显微镜的重要部件。它是使电镜保持良好真空状态的关键。只有保养好灯丝,才能使电镜尽早抽好真空,达到观察样品时良好的使用状态。
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