20世纪以来,微纳米科技作为一个新兴科技领域发展迅速,当前,纳米科技已经成为21 世纪前沿科学技术的代表领域之一,发展作为国家战略的纳米科技对经济和社会发展有着重要的意义。纳米材料的结构单元尺寸接近电子的相干长度和光的波长,具有表面与界面效应、小尺寸效应、量子尺寸效应等特殊的性质,在电学、磁学、光学、力学等方面具有许多新奇特性,在高性能器件应用方面具有巨大的潜力。研制新奇特性的纳米结构和器件,需要发展精度高、多维度、稳定的微纳加工技术。微纳加工工艺范围非常广泛,其中主要常见有离子注入、光刻、刻蚀、薄膜沉积等工艺技术。近年来,由于现代加工技术的小型化趋势,聚焦离子束(focused ion beam,FIB)技术越来越广泛地应用于不同领域中的微纳结构制造中,成为微纳加工技术中不可替代的重要技术之一。
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