技术指标:
电子光学系统: Quanta 400 FEG的特点是电子光学镜筒的光轴预先调整到达高的分辨率和稳定电子束的状态。
电子光学系统主要包含以下内容: 电子源 肖特基场发射电子qiang。电子qiang部件调整到好的状态,高亮度大束流,提供无噪音成像。 加速电压 200V ~ 30kV 束流 >100nA 分辨率 (用碳膜上的金颗粒来测试) 高真空:1.2nm30kV (SE);2.5nm30kV (BSE);3.0nm1kV (SE) 低真空:1.5nm30kV (SE);2.5nm30kV (BSE);3.0nm3kV (SE) 扩展的真空模式(ESEM):1.5nm30kV (SE) 焦距范围 2.5 ~ 99 mm 放大倍率 12x (长工作距离) ~ >2,000,000x 在19"LCD显示器上单一像限观察 视野范围 在高、低真空模式具有同样的视野范围 (最大工作距离17mm)
应用范围
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