JSM-7001F热场发射扫描电子显微镜(Thermal Field Emission SEM),是能够满足与高分辨率和易用性同样的分析应用需求的理想平台。JSM-7001F具有大型、5轴、全对中马达驱动自动化样品台,还有单动作样品更换气锁、它的小束口压直径,即使在大电流和低电压时,也具有适用于EDS、WDS、EBSP和CL的理想结构的扩充性。样品室可处理直径最大为 200mm的样品。
低真空模式规格
样品室压力:最大50 Pa
分辨率:3.0nm(30kV)(BEI)
枪室压力:5 x 10-7 Pa或更小
采用的气体:干燥氮气
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