空镀膜设备的薄膜制作过程,简单来说就是将一种材料(薄膜材料)转移到另一种材料(基底)的表面,形成和基底牢固结合的薄膜的过程。所以,任何的真空镀膜薄膜制作方法都包括:源蒸发、迁移和凝聚三个重要环节。
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一、镀膜蒸发源
“源"的作用是提供镀膜的材料(或被镀材料中的某种组分)。通过物理或化学的方法使镀膜材料成为气态物质。
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二、迁移过程
迁移过程都是在气相中进行的,在气态物质迁移时,为了保证膜层的质量,一般都是在真空或惰性气氛中进行,并施加电场、磁场或高频等外界条件来进行活化以增加到达基底上的气态物质的能量,提供气态物质发生反应的能量,即提供气态物质反应的激活能。
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