叶片的角度大,则排气速度大,压缩比小。叶片的角度小,则排气速度小,压缩比大。分子泵的排气速度基本上不受气体种类的影响,泵的极限压强可达10-8 Pa,但是对轻分子/原子,排气速度会有所降低。
分子泵是一种高速旋转的机械泵,因此对平衡的要求很高,对固体异物非常脆弱,通常要在分子泵的入口处安装金属过滤网。分子泵在工作过程中,如果压强突然恶化,则有可能损坏叶片。
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